每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：請(qǐng)問董秘，貴司說一季度21億新簽訂單中制程設(shè)備2.12億，是指清洗設(shè)備嗎？貴司友商盛美稱公司的清洗設(shè)備已經(jīng)覆蓋90-95%的清洗工藝，并稱新客戶在今年銷售份額里占有較大比重。請(qǐng)問貴司清洗設(shè)備的覆蓋工藝程度以及今年在半導(dǎo)體行業(yè)清洗設(shè)備新簽訂單的趨勢(shì)如何？

至純科技（603690.SH）6月29日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司制程設(shè)備覆蓋半導(dǎo)體領(lǐng)域的各類設(shè)備，以濕法清洗設(shè)備為主。公司濕法清洗設(shè)備在28納米全部工藝工序段已通過驗(yàn)證并有重復(fù)訂單。公司還領(lǐng)先突破了原來由國外壟斷的單片SPM設(shè)備。

(記者 蔡鼎)

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